— 應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉(zhuǎn)化為電信號)
 — 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準直儀)
 — 對直線度進行1:1的測量
 — 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

—  API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，
— 無需其他鏡組裝/調(diào)非常方便快速
— 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，
— 大大節(jié)省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。

偏擺角/

俯仰角測量

— 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點上；
— 如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
— 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試。不受滾動角的影響，調(diào)整光路容易 。

（2.0+0.4/m）

或2%

（1.0+0.2/m）

或1%

（0.5+0.1/m）

或1%

（1.0+0.2/m）

或1%

（0.5+0.1/m）

或1%

偏擺角及俯仰角精度

（1.0+0.1/m）

或1%

（0.5+0.05/m）

或1%

（1.0+0.1/m）

或1%

（0.5+0.05/m）

或1%

0.1